Kõrge puhtusastmega titaanist pihustussihtmärgid

Kõrge puhtusastmega titaanist pihustussihtmärgid

1. Põhiinnovatsioon: puhtuse ja jõudluse ümberdefineerimine​

• Toote nimi: üli-kõrge-puhtusastmega titaanist pihustussihtmärgid (Gr1–Gr12 klassid)
• Puhtuse võrdlusalus:
• Titaani sisaldus: 99,95% või suurem (ASTM B348)
• Lisandite kontroll: <0.02% (O, N, C ≤0.005%; Fe ≤0.01%)
• Tihedus: 4,51 g/cm³ (±0,02)
• Miks see on oluline:
• Filmi terviklikkus: Sub-ppm impurity levels eliminate voids and inclusions, ensuring uniform film thickness (±2%) and adhesion strength (peel test >50 MPa).
• Terade struktuur: 50–100 μm võrdse teljega terad (SEM-kontrollitud) vähendavad kaare teket ja parandavad pihustuskiiruse stabiilsust 30% võrra.
• Tehniline serv:
• Vaakum-induktsioonsulatamine: 99,999% puhtusega lähteaine, mis on sulanud 10-3 Pa vaakumis.
• Kuum isostaatiline pressimine (HIP): 1200 kraadi / 200 MPa töötlemine pooride sulgemiseks<5 μm.
• CNC täppistöötlus: Tolerantsid ±0,05 mm kriitiliste mõõtmete puhul (nt sihtpaksus).

2. Rakenduse-spetsiifilised lahendused​

2.1 Pooljuhtide tootmine​

Vahvli kate: Gr1 (99,5% Ti) sihtmärgid paisu dielektriliste kihtide jaoks (oksiidi/nitriidi liidesed).

Juhtumiuuring: Vähendab tahkete osakeste saastumist 80% võrra 300 mm vahvliga pihustamisel.

2.2 Optilised katted​

-Peegeldusvastased kiled: Gr5 (Ti-6Al-4V) sihtmärgid UV/IR optika jaoks (murdumisnäitaja kontroll: n=2.2–2,6).

UV-C-läätsed: saavutab 99,8% ülekande vahemikus 200–400 nm.

2.3 Energia salvestamine​

Tahkis{0}}akud: Gr7 (Ti-0,2Pd) sihtmärgid tahke-elektrolüüdi liidestele (ioonjuhtivus: 10⁻³ S/cm).

2.4 Täiustatud elektroonika​

Paindlikud vooluringid: Gr12 (Ti-0,3Mo-0,8Ni) sihtmärgid venitatavatele juhtliinidele (pingutaluvus: 300%).

3. Kvaliteedi tagamine ja vastavus​

Sertifikaadid:

• ISO 9001: Täielik jälgitavus toorainest valmistooteni.
• ASTM B381: Vastupidavus vesiniku haprusele<200 kPa.
• RoHS/REACH: <100 ppm restricted substances.

Testimisprotokollid:

Kuum tags: kõrge puhtusastmega titaani pihustussihid, Hiina, tootjad, tarnijad, tehas, kohandatud, madal hind, laos, valmistatud Hiinas